IXION 193 SLM 梅高美游戏网站

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IXION 193 SLM是一款单频全固态激光系统,应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子梅高美游戏网站的带宽控制等领域。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。

该系统的中心波长可定制,范围在185至194 nm之间,并可在订购时配置为固定波长。

另外,系统还可以集成一台绝对光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有最大的精度。

可选

  • 图形用户界面
  • LabView库
  • 精密光谱仪
  • 中心波长:185 ~ 194 nm
  • 符合CDRH的快门

IXION 193 SLM 应用

  • 193 nm 计量
  • 光谱仪校准
  • 干涉度量
  • 准分子梅高美游戏网站种子源

IXION 193 SLM

波长 193.368 nm
平均功率 10 mW
脉宽 typ.8~12ns
脉冲能量 1.6 ?J
重频 1~15 kHz
光束质量 M? < 1.6
光谱带宽 < 80 MHz
光谱可调谐性 > 10 pm
相干长度 > 2 m
脉冲稳定性 σ < 2.5 %

IXION 193 SLM资料下载:

IXION 193 SLM datasheet

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